クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、わずかなほこりでも大問題になります。 問題は、一般的なIRランプが実質的に「汚染源」となってしまうことです。これらのランプでは安価な接着剤や樹脂、低品質の金属が使用されており、温度が上がるとすぐに剥がれ落ちたり、有害なガスを放出したりし...

クリーンルームを壊さずにIR加熱を利用する方法 クラス100の環境で作業を行う場合、熱は非常に厄介な要素です。単に適切な温度を保つだけでは不十分で、空気が完全に清潔であることも重要です。 問題は、一般的なIRランプは「汚れやすい」という点です。反射器から微小な粒子が放出されてしまいます。もしそうし...

はじめに 想像してみてください。空気中に可燃性の洗浄剤が満ちたウェーハ処理ラインの光景です。こうした環境では、一般的な加熱素子はすぐに機能を失ってしまいます。 私たちが開発した赤外線加熱ランプは、まさにこのような過酷な環境に対応するために作られました。加熱源を特殊なカプセル化システムで覆うことで、...

300mmウエハーの場合、ウエハー全体で0.3℃の温度変動があれば、クリティカルサイズに影響が出ます。一度でも計画外の停止が起きれば、1ヶ月分の熱管理コストが一瞬で無駄になってしまいます。ウエハーのIR対応用コーティングは、単なるオプションではありません。これは、何回繰り返してもリソグラフィーやフ...