半導体製造プロセスにおける二酸化炭素排出の削減 半導体製造工場を炭素中和型にしたいのであれば、単に電球をLEDに交換するだけでは不十分です。本当の鍵は、ウェーハ処理時の熱の扱い方にあります。そこで役立つのが、金コーティングされた赤外線ランプです。 金コーティングの効果 通常のクォーツランプは、エネ...

工場フロアでは、フォトレジストの焼成中に0.1℃のドリフトが発生すると、多くの製品が廃棄物に変わることがあります—ライン幅制御がずれ、残留物が残り、歩留まりが低下します。この変動を排除するために、金メッキの反射板を備えた赤外線バルブを開発しました。これにより、リソグラフィと硬化が最も必要とする場所...