クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行うとき、加熱はかなり厄介な問題です。単に適切な温度を維持するだけでは不十分で、目に見えない微粒子の問題もあります。 一般的な加熱要素は、このような環境では役立ちません。それらはガスを放出したり、微小な粒子を発生...

フィルム型太陽電池の製造においては、わずかな温度変動でも許されない。たとえ1度程度の温度偏差があっても、フォトレジストの残留物が残ったり、表面に汚れが付着したりして、歩留まりが悪くなる。そのため、一貫して正確な温度が維持されることが重要であり、サイクルを重ねても同じ状態を保つ必要がある。 赤外線を...