水素センサーのヒーターが本当に正常に動作しているかを確認する方法 水素センサーを製造する際には、「十分であればよい」というわけにはいきません。ミスの余地はありません。もし装置内で絶縁破壊が起きたら、単に小さな部品が損傷するだけではなく、生産ライン全体が危険にさらされる可能性があります。 だからこそ...

MEMSウェーハを乾燥させる際の安全対策 正直に言って、高強度の赤外線ランプを可燃性の溶剤のすぐそばに置くのは、災害を招く行為です。化学的な洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるには熱が必要ですが、クリーンルーム内で火災が起きるわけにはいきません。 だからこそ、単にランプを作るだけではなく、...

なぜ半導体パッケージングにおいて、従来のオーブンの代わりに赤外線加熱を使うのか？ エポキシを硬化させたり、チップを接合する際には、常に熱との戦いがあります。間違えると、基板が変形してしまいます。これは大変な問題です。 長い間、私たちはすべての工程を大型の対流式オーブンで行ってきました。しかし、問題...

なぜ金コーティングされた反射器がウェハーにとって重要なのか 半導体加工の世界では、熱の損失は大きな問題です。それによって処理効率が低下してしまいます。シリコンウェハーの温度を正確に制御しようとするとき、赤外線エネルギーが装置の筐体内に漏れ出すことは避けたいものです。それは無駄なエネルギーの消費に他...

はじめに 想像してみてください。空気中に可燃性の洗浄剤が満ちたウェーハ処理ラインの光景です。こうした環境では、一般的な加熱素子はすぐに機能を失ってしまいます。 私たちが開発した赤外線加熱ランプは、まさにこのような過酷な環境に対応するために作られました。加熱源を特殊なカプセル化システムで覆うことで、...

ファブラインでは、バイオセンサーワーフを扱う際には、熱制御を厳格に行う必要があります。なぜなら、フォトレジストはわずかな温度変動も許容しないからです。重要な寸法がどんどん小さくなるにつれて、数度の誤差でも、ソフトベイクやハードベイクの条件が狂ってしまい、製品の品質が低下し、廃棄処分となってしまいま...