半導体クリーンルーム用トロリー型ヒーター

クリーンルームを安全に守り、トロリーヒーターが正常に動作し続けるために 半導体の湿式処理装置や化学洗浄ラインで作業する場合、その危険性はご存知でしょう。そこでは揮発性で燃えやすい溶剤が使用されているのです。これは非常に危険な環境です。 このような場所で通常の赤外線ランプを使うのは、まさに問題を引き...