なぜ金コーティングされた反射器がウェハーにとって重要なのか 半導体加工の世界では、熱の損失は大きな問題です。それによって処理効率が低下してしまいます。シリコンウェハーの温度を正確に制御しようとするとき、赤外線エネルギーが装置の筐体内に漏れ出すことは避けたいものです。それは無駄なエネルギーの消費に他...

製造現場では、物事がどれだけ急速に悪化してしまうかわかります。焼成温度が半度でもずれると、フォトレジストの特性が規格外になってしまいます。そのため、生産ラインは停止してしまいます。私たちは、シフトを重ねても温度管理を安定させるために、赤外線ランプ用のソケットを自社で開発しました。 重要なのは、内部...