一般的な対流式オーブンというのは、基本的には熱い空気が詰まった大きな箱に過ぎません。半導体クリーンルームでは、これは大変な問題です。なぜでしょうか？というのも、その熱はそこに留まっているわけではないからです。熱は装置の壁に浸透してしまい、その結果、装置の外殻が非常に高温になり、人が触れると火傷を負...

なぜクリーンルームで熱風を使わずにIRランプを使用するのか もし、半導体製造において依然として熱風を利用しているのであれば、多くの時間が無駄になっている可能性があります。私はよくそのような現場を見かけます。それは「昔からのやり方」ですが、生産効率を上げるためには、その古い方法は問題になります。 実...