クリーンルームを壊さずにIR加熱を利用する方法
クラス100の環境で作業を行う場合、熱は非常に厄介な要素です。単に適切な温度を保つだけでは不十分で、空気が完全に清潔であることも重要です。
問題は、一般的なIRランプは「汚れやすい」という点です。反射器から微小な粒子が放出されてしまいます。もしそうした粒子がウェーハや光学部品に付着してしまったら、大変なことになります。
私たちは、高純度の石英製のケースと、特別に設計されたアルミニウム製の反射器を組み合わせることで、この問題を解決しました。
なぜ合成石英を使用するのか？
ランプのケースとして合成高純度石英を使用する理由は、耐久性が高いからです。高ワット数で動作させても、ほとんどのガラスは劣化したり「煙が出る」ようになりますが、合成石英はそうではありません。熱ショックにも強く、金属不純物が作業エリアに漏れ出ることもありません。高温状態でも常に清潔を維持できます。
反射器の問題点
問題は、通常、汚染が発生するのは反射器の部分です。安価な研磨済みの反射板は時間が経つと剥がれたり酸化したりします。私たちは、IRエネルギーを正確に元の方向に戻すように設計された高品質なアルミニウムを使用しています。
反射器の位置は完璧でなければなりません。熱が直接対象物に当たるように、幾何学的な構造を精密に調整します。もし反射器の位置が数ミリメートルでもずれてしまうと、熱の集中力が低下し、結果的に全体が温められてしまいます。誰もそれは望みません。
実際に機能させるために
これらのランプは、ほとんどの高クリーン度の環境で問題なく使用できます。ただし、一つアドバイスがあります。空気の流れを確認してください。
材料自体は清潔ですが、強い熱によって対流が生じます。もし層流がうまく制御されていなければ、その対流によって床のほこりが部品の上に舞い上がってしまいます。
私たちは、24時間365日連続してこのランプを使用していますが、粒子の発生は一切ありません。注意点として、配線が適切に遮蔽されているかを確認してください。電源装置からの電磁干渉によって、敏感なクリーンルーム用センサーが故障する可能性があります。