はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちは、業界で使われている従来の加熱装置を代替品として選び、工場内で実際にその性能を試すのです。つまり、大手メーカーの製品と直接競争するわけです。 これは単なるスペック表を見比べるだけの話ではありません。重要なのは、厳しい環境下で、私たちのハロゲンヒーターが...

ファブフロアにおける熱異常は理論上の話ではない。廃棄ウェハ、破損したフォトレジストプロファイル、ライン全体に波及する歩留まり低下として現れる。MattsonのRTPツールのランプが経年劣化すると、温度均一性がずれ、プロセスウィンドウが狭まる。このズレを元から止めるために交換用ランプシステムを開発し...