クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、わずかなほこりでも大問題になります。
問題は、一般的なIRランプが実質的に「汚染源」となってしまうことです。これらのランプでは安価な接着剤や樹脂、低品質の金属が使用されており、温度が上がるとすぐに剥がれ落ちたり、有害なガスを放出したりします。目に見えないかもしれませんが、製品に悪影響を与えます。
私たちは、そうした問題を解決するために、安価な部品を使わず、高純度の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを使用しています。
なぜこれが効果的か
一般的な商業用ランプは有機系の接着剤で固定されていますが、温度が上がるとその接着剤が分解し、揮発性有機化合物（VOC）が放出されます。これが、基板に曇りが生じる原因です。
一方、私たちの装置では、石英管を使用しているため、IR光がしっかりと通過し、化学物質にさらされても壊れません。また、セラミック製のエンドキャップも分解されることはありません。どんなに温度が上がっても、常に無菌な環境を維持します。
製造における詳細
タングステンフィラメントを固定するために、精密に合致したセラミック製のインターフェースを使用しています。これは単純な変更ですが、結果として、最終的に破損する可能性のある接着剤を使わずに済みます。これにより、ハロゲンガスを管内に閉じ込め、汚れを外部に抑えることができます。
取り扱い上の注意点
高純度の石英は、通常使われているドープガラスよりも少し壊れやすいです。そのため、手で直接触ってはいけません。皮膚から出る油分がガラス上に「ホットスポット」を作り、本来よりも早く管が割れてしまいます。チームメンバーは必ず糸くずのつかない手袋を着用し、配線時にはトルクの規定を厳守する必要があります。これは繊細な作業ですが、その甲斐はあります。
適用範囲
半導体ウェーハの焼成や高品質な光学コーティングを行っている場合に適しています。リアルタイムで粒子状物質を監視するシステムにも簡単に取り替えることができます。最近、ワークピースに「斑点」が見られる場合は、空気フィルターのせいではありません。おそらくランプのエンドキャップが原因でしょう。