ウェーハの硬化処理におけるランプの故障対応 高負荷な生産ラインを運用していると、赤外線ランプには極限まで負担がかかります。これは非常に過酷な環境です。そして、ランプが壊れてしまったり、最悪の場合は爆発してしまったりすると、ダウンタイムだけが問題ではありません。 本当の問題は、汚染です。ガラスの破片...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク工程中に1℃の逸脱がどれほどの影響を及ぼすかを正確に理解しています。ライン幅がズレて大量のスクラップにつながることもあります。そのため、必要な場所と時間に正確に、そして継続して要求通りの温度を供給することが求められます。 内部で重要なポイント 当社は認証済み...