半導体ヒーター用熱電対

なぜ金メッキされた反射板がウェーハの加熱にとって重要なのか ウェーハを加熱する際、実際にはエネルギーの無駄遣いと戦っているのです。ほとんどの場合、放射される熱の大部分がチャンバーの壁に漏れてしまいます。これは電力の無駄であり、作業をより困難にしてしまいます。 ここで役立つのが金メッキされた反射板で...