半導体ヒーターのサプライヤー

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度程度の温度変動があるだけで、製品の歩留まりが低下してしまいます。ウェーハは厳しい温度制御が求められるため、ヒーターはサイクルごとに安定した熱を供給しなければならず、粒子が発生するリスクも避けなければなりません。 技術的に重要な点 私たちが...