半導体用グローブボックスを扱ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。内部を加熱する必要がありますが、外壁が巨大なヒーターのようになってしまっては困ります。 もし通常の対流式ヒーターを使えば、結局は空気全体を加熱してしまいます。その空気はケースやシール、操作者の腕など、あらゆる場所に当た...

製造現場では、うまくいっている工程が一瞬にして失敗に終わってしまうこともあります。LPCVD炉の温度制御において、わずか0.3℃のずれだけで、目標とする薄膜の厚さが基準値から外れてしまいます。加熱要素の性能が低下すると、温度の均一性が失われ、ドーピングや成膜の過程にも影響が出てきます。その結果、リ...