半導体製造プロセスにおける二酸化炭素排出の削減 半導体製造工場を炭素中和型にしたいのであれば、単に電球をLEDに交換するだけでは不十分です。本当の鍵は、ウェーハ処理時の熱の扱い方にあります。そこで役立つのが、金コーティングされた赤外線ランプです。 金コーティングの効果 通常のクォーツランプは、エネ...

熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金メッキされたツインチューブランプが効果的か 半導体ウェーハを加熱する際に、エネルギーが周囲の空気中に失われてしまっている場合、そのシステム設計は逆効果となります。 一般的な石英ランプは、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。狭いスペースでは、これは大きな問題です。高価...