はじめに 想像してみてください。空気中に可燃性の洗浄剤が満ちたウェーハ処理ラインの光景です。こうした環境では、一般的な加熱素子はすぐに機能を失ってしまいます。 私たちが開発した赤外線加熱ランプは、まさにこのような過酷な環境に対応するために作られました。加熱源を特殊なカプセル化システムで覆うことで、...

リソグラフィー工程では、フォトレジストのソフトベイク時に1℃の温度変動が生じると、単に工程がずれるだけでなく、回路線幅にも影響を与え、最悪の場合は全ての製品が不良になってしまいます。また、ウエハーの乾燥処理時に表面張力による薄い膜が残っていると、粒子が付着してしまい、歩留まりが低下します。したがっ...