오존이 없는 적외선 램프

왜 반도체 IR 경화 공정에서 오존을 사용하지 않는가? 반도체 제조 공장에서 일할 때 가장 우려되는 것은 오염입니다. 조금이라도 실수가 생기거나, 청정실에 유해 물질이 들어오면 웨이퍼들이 망가지게 됩니다. 그래서 우리는 오존이 없는 적외선 램프를 사용하게 되었습니다....