웨이퍼용 IR 컨포멀 코팅

300mm 웨이퍼의 경우, 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.3°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 예기치 못한 정지 상태가 발생하면, 단 한 번의 정지로도 한 달 동안의 열 관리 노력이 물거품이 될 수 있습니다. 웨이퍼의 적외선 차단을 위한 코팅...