산업용 가열기 교체
서론 간단히 말해, 우리는 산업용 난방 장비를 공장 현장에서 직접 테스트해보려 합니다. 이는 단순한 사양 비교가 아니라, 실제 작업 환경에서 우리의 할로겐 난방 요소가 까다로운 웨이퍼 생산 환경에서도 제 역할을 할 수 있는지를 증명하는 것입니다. 결국 중요한 것은 실...
매트슨 RTP 램프 교체
생산 현장에서 열 변동은 이론적 개념이 아니다. 열 변동은 불량 웨이퍼, 손상된 포토레지스트 프로파일, 그리고 생산 라인 전반에 영향을 미치는 수율 저하로 나타난다. Mattson RTP 장비의 램프가 노후화되면 온도 균일도가 변동하고 공정 윈도우가 축소된다. 이러한...