MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼를 건조할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 고강도 적외선 램프를 가연성 용매와 가까이 두는 것은 재앙을 부르는 행위입니다. 화학적 세정 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요하지만, 클린룸에서 화재가 발생하는 것은 절대 원치 않습니...
공장 건조 공정에 대한 에너지 감사
팹 건조 장비의 가열 요소가 폭발하지 않도록 하는 방법
우리가 팹 건조 라인용 가열 요소를 배송할 때는 절대로 우연에 맡기지 않습니다. 모든 튜브는 포장되기 전에 반드시 내전압 테스트와 절연 저항 테스트를 거칩니다.
왜냐하면 팹에서는 아주 작은 구멍이 생기거나 절연체...
웨이퍼 건조용 적외선 히터
리소그래피 공정에서 웨이퍼를 건조시키거나 포토레지스트를 소프트 베이크하는 동안 0.3°C만큼의 온도 변동이 생기면, 그로 인해 웨이퍼의 치수가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 이러한 온도 변동은 결국 생산 효율 저하로 이어집니다. 우리는 이러한 변동성을 없애기 위...