Below you will find pages that utilize the taxonomy term “(화면)” DNS(스크린) 웨이퍼 건조기용 램프 리소그래피 라인에서는 포토레지스트를 가열하는 과정을 단순한 ‘가열’로 여기지 않습니다. 이는 사실상 치수 제어에 해당합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생기면, 제품의 중요한 치수들이 변하게 됩니다. 또한, 균일하지 않은 온도 분포... Read more...
DNS(스크린) 웨이퍼 건조기용 램프 리소그래피 라인에서는 포토레지스트를 가열하는 과정을 단순한 ‘가열’로 여기지 않습니다. 이는 사실상 치수 제어에 해당합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생기면, 제품의 중요한 치수들이 변하게 됩니다. 또한, 균일하지 않은 온도 분포... Read more...
