매트슨 RTP 램프 교체

생산 현장에서 열 변동은 이론적 개념이 아니다. 열 변동은 불량 웨이퍼, 손상된 포토레지스트 프로파일, 그리고 생산 라인 전반에 영향을 미치는 수율 저하로 나타난다. Mattson RTP 장비의 램프가 노후화되면 온도 균일도가 변동하고 공정 윈도우가 축소된다. 이러한...