적외선을 이용한 웨이퍼 휨 방지

라인에서 왜곡된 웨이퍼는 단순한 폐기물이 아닙니다. 이는 수율에 대한 직접적인 타격이며, 일정 관리에 대한 골칫거리가 됩니다. 대류 오븐은 열 관성 및 기울기를 극복할 수 없습니다. 결과적으로 일관되지 않은 포토레지스트 프로필과 필름 스택에 잠긴 스트레스가 발생합니다...