なぜUHP赤外線硬化が無鉛規格を達成するための最善の方法なのか
半導体製造工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、すべてを左右する要素です。わずかなほこりや残留物でさえもウェーハを損傷させてしまいます。
長年にわたり、私たちは対流式オーブンを利用してきました。しかし正直に言えば、巨大なチャンバー内の空気を温めるというのは、コーヒー1杯を温めるために家全体を暖めるようなものです。効率が悪く、大量の電力が消費され、また、その空気流に微粒子が混入する心配もあります。
だからこそ、私たちは超高純度(UHP)赤外線ランプに切り替えました。空気を温める代わりに、ウェーハ自体を直接加熱するのです。
熱が実際にどのように作用するか
UHPランプは短波長の赤外線を利用します。空気が温まるのを待つ代わりに、光子を直接基板に当てるのです。これにより、迅速かつ効率的に加熱が行われます。また、熱が集中しているため、化学触媒やVOCを使う必要がありません。これこそが「無鉛規格」を達成するための真の秘訣です。低温でも化学反応を起こすために重金属に頼る必要はなく、精確で純粋なエネルギーを利用するだけです。
電力の節約（そして精神的負担の軽減）
従来の乾燥方法では、時間がかかりすぎます。24時間365日、大量の空気を温め続けるために多額のエネルギーが消費されます。
一方、UHPランプは即座に動作します。ラインの速度に合わせて電力を調整することができます。ラインが停止すれば、無駄な消費も止まります。これはずっと効率的な方法です。
ただし、注意が必要です。狭い空間にこれだけのエネルギーが集中すると、非常に高温になります。冷却システムを正しく設定しなければ、ランプやウェーハの端が過熱してしまいます。少しの調整が必要ですが、一度調整が完了すれば、理想的な状態になります。
地球環境にも、監査にも良い
溶剤を使った乾燥方法を廃止し、エネルギー消費を大幅に削減すれば、地球規模のグリーン基準を満たすことができます。排出物もなく、鉛も含まれていません。必要な場所でのみ電磁波が熱に変換されます。
もし今も古くて非効率的な熱風乾燥装置を使っているなら、これが解決策です。ワークフローに自然に組み込め、余計な問題もありません。