なぜ金コーティングされた反射器がウェハーにとって重要なのか 半導体加工の世界では、熱の損失は大きな問題です。それによって処理効率が低下してしまいます。シリコンウェハーの温度を正確に制御しようとするとき、赤外線エネルギーが装置の筐体内に漏れ出すことは避けたいものです。それは無駄なエネルギーの消費に他...

リソグラフィー工程では、フォトレジストのソフトベイク時に1℃の温度変動が生じると、単に工程がずれるだけでなく、回路線幅にも影響を与え、最悪の場合は全ての製品が不良になってしまいます。また、ウエハーの乾燥処理時に表面張力による薄い膜が残っていると、粒子が付着してしまい、歩留まりが低下します。したがっ...