MEMSウェーハを乾燥させる際の安全対策 正直に言って、高強度の赤外線ランプを可燃性の溶剤のすぐそばに置くのは、災害を招く行為です。化学的な洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるには熱が必要ですが、クリーンルーム内で火災が起きるわけにはいきません。 だからこそ、単にランプを作るだけではなく、...

ファブ乾燥装置用のヒーター要素が爆発しないようにするために 私たちがファブ乾燥装置用のヒーター要素を出荷するときは、一切のリスクを冒しません。出荷前に、各チューブに対して耐電圧試験や絶縁抵抗試験を行います。 なぜでしょうか？というのも、ファブ内では、わずかな隙間や不良な絶縁体でも、単なる「不具合」...

リソグラフィ工程において、ウェーハの乾燥やフォトレジストのソフトベイクの際に0.3℃もの温度変動があると、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。このような変動は、最終的に歩留まりの低下につながります。私たちは、このような変動を防ぐために、ウェーハ乾燥用の赤外線ヒーターを開発しました。こ...