半導体製造プロセスにおける二酸化炭素排出の削減 半導体製造工場を炭素中和型にしたいのであれば、単に電球をLEDに交換するだけでは不十分です。本当の鍵は、ウェーハ処理時の熱の扱い方にあります。そこで役立つのが、金コーティングされた赤外線ランプです。 金コーティングの効果 通常のクォーツランプは、エネ...

クリーンルームを安全に守り、トロリーヒーターが正常に動作し続けるために 半導体の湿式処理装置や化学洗浄ラインで作業する場合、その危険性はご存知でしょう。そこでは揮発性で燃えやすい溶剤が使用されているのです。これは非常に危険な環境です。 このような場所で通常の赤外線ランプを使うのは、まさに問題を引き...

なぜ、鉛フリー基板の硬化に赤外線を利用するのか？ 正直に言って、昔からある対流式オーブンというのは、もはや時代遅れです。現在の鉛フリーで環境に優しい基準を満たすためには、巨大な熱風室に頼るだけでは不十分です。 そのため、私たちは赤外線を使った硬化方式に切り替えました。対流式オーブンのように部屋全体...

なぜ金メッキされた反射板がウェーハの加熱にとって重要なのか ウェーハを加熱する際、実際にはエネルギーの無駄遣いと戦っているのです。ほとんどの場合、放射される熱の大部分がチャンバーの壁に漏れてしまいます。これは電力の無駄であり、作業をより困難にしてしまいます。 ここで役立つのが金メッキされた反射板で...

クォーツチューブの破損を防ぐ：半導体製造装置の信頼性を守るために 高負荷の半導体製造装置では、赤外線ランプが破損すると大変な問題になります。停止時間だけが問題なわけではありません。もちろん、停止時間も深刻ですが、何よりも問題なのは、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に散乱してしまう...

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度程度の温度変動があるだけで、製品の歩留まりが低下してしまいます。ウェーハは厳しい温度制御が求められるため、ヒーターはサイクルごとに安定した熱を供給しなければならず、粒子が発生するリスクも避けなければなりません。 技術的に重要な点 私たちが...