利用红外线防止晶圆翘曲

在线生产中，翘曲晶圆不仅是废品，更是产量的直接损失和排产的难题。 对流烘箱无法摆脱热惯性和温度梯度，最终导致光刻胶轮廓不一致，薄膜堆栈中产生残余应力。红外加热通过将能量直接输送到所需位置，且在工艺要求的时间点精准加热，有效解决了这一问题。 核心关键 我们将短波红外发射器的波长与硅片和光刻胶的吸收谱...