牛津仪器加热元件

在光刻车间，烘烤步骤不仅仅是一个暂停——它是你遵循的公差。软烘烤和硬烘烤温度的漂移，突然间在刻蚀发生之前，你的关键尺寸控制就消失了。当热均匀性不佳时，你不仅失去产量，还会影响进度。 真正重要的是什么 我们围绕受控红外能量构建了Oxford Instruments加热元件，调节到晶圆本身对热量的响应...