MEMS传感器晶圆干燥加热器

在干燥MEMS晶圆时，如何确保安全？ 说实话，将高强度红外灯放置在易燃溶剂旁边，无疑会引发灾难。如果在化学清洗之后对MEMS传感器晶圆进行干燥处理，确实需要大量的热量，但绝不能让清洁室里发生火灾。 因此，我们不会随便制造灯具——我们会为它们配备特殊的保护装置，以防止那些易挥发的蒸汽接触到带电部件。...