用于晶圆的精密红外传感器

引言 想象一下：在晶圆处理线中，空气中充满了易燃的清洁剂。在这种环境下，普通的加热元件几乎立刻就会失效。 我们设计的红外加热灯正是为应对这种极端环境而打造的。我们将热源封装在特殊的保护结构中，从而让热量集中在需要的地方，同时防止火花逸出到空气中。这样一来，就能为半导体制造提供精确的热控制效果，同时...