用于红外灯的铝制反射器

如何使用红外线加热器，同时避免破坏洁净室环境 在100级洁净室环境中工作时，热量管理是个难题。不仅要控制好温度，还要确保空气的纯净度。 问题在于，普通的红外线灯往往存在污染问题——它们的反射镜会释放出微小的颗粒物。如果这些颗粒落在晶圆或光学元件上，就会引发严重问题。 我们通过使用高纯度的石英外壳，...