在干燥MEMS晶圆时，如何确保安全？ 说实话，将高强度红外灯放置在易燃溶剂旁边，无疑会引发灾难。如果在化学清洗之后对MEMS传感器晶圆进行干燥处理，确实需要大量的热量，但绝不能让清洁室里发生火灾。 因此，我们不会随便制造灯具——我们会为它们配备特殊的保护装置，以防止那些易挥发的蒸汽接触到带电部件。...

确保加热元件不会发生爆炸 在为工厂的干燥设备提供加热元件时，我们绝不掉以轻心。每根元件在装入包装箱之前，都会经过耐压测试和绝缘电阻测试。 为什么呢？因为在工厂环境中，哪怕是微小的漏电现象或绝缘层损坏，都可能引发严重问题。这不仅会导致整个生产流程中断，还可能引发电弧闪络，那无疑是一场灾难。没人希望在...

在光刻工序中，如果在晶圆干燥或光刻胶软化处理过程中出现0.3℃的温差，那么晶圆的尺寸就可能会发生纳米级的变化。这种偏差会导致生产良率下降。我们设计的晶圆干燥用红外加热器，就是为了消除这种误差。这样一来，就能在工艺要求苛刻的情况下实现精确的温度控制，同时也能确保设备持续稳定运行，而不受烤箱工作周期的...