赤外線によるウェーハの歪み防止

ライン上で、反りのあるウェハは単なるスクラップではない。歩留まりに直接的な打撃を与え、スケジュールにも頭痛の種となる。 対流炉では熱慣性や温度勾配を解消できず、フォトレジストプロファイルが不均一となり、フィルムスタックにストレスが残留する。赤外線加熱は、必要な場所に必要なタイミングでエネルギーを注...