マットソンRTPランプ交換

ファブフロアにおける熱異常は理論上の話ではない。廃棄ウェハ、破損したフォトレジストプロファイル、ライン全体に波及する歩留まり低下として現れる。MattsonのRTPツールのランプが経年劣化すると、温度均一性がずれ、プロセスウィンドウが狭まる。このズレを元から止めるために交換用ランプシステムを開発し...