省エネ型ウェーハヒーター

キャビネットを加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 もし従来の抵抗式ヒーターを使ったことがあるなら、その面倒さはご存知でしょう。熱があちこちに散乱してしまい、めちゃくちゃになってしまいます。エネルギーは本来あるべき場所に行かず、キャビネットの内壁に吸収されてしまいます。その結果、壁が...