オックスフォード・インスツルメンツヒーターエレメント

リソグラフィーフロアでの焼成工程 焼成ステップは単なる一時停止ではなく、それがあなたが守るべき許容値です。ソフトベイクとハードベイクの温度がずれ、エッチングが始まる前にクリティカルディメンションの制御が失われることがあります。熱の均一性が崩れると、歩留まりを失うだけでなく、スケジュールも失います。...