ウェーハ用のIR用コンフォルムコーティング

300mmウエハーの場合、ウエハー全体で0.3℃の温度変動があれば、クリティカルサイズに影響が出ます。一度でも計画外の停止が起きれば、1ヶ月分の熱管理コストが一瞬で無駄になってしまいます。ウエハーのIR対応用コーティングは、単なるオプションではありません。これは、何回繰り返してもリソグラフィーやフ...