DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ

リソグラフィーラインにおいては、フォトレジストの加熱処理を単なる「加熱」として扱うことはありません。これは、単純に寸法制御の問題です。ソフトバーンやハードバーン時の温度変化が1℃でもあれば、重要な寸法が変わってしまいます。また、均一でない温度分布は、エッジビードの発生や歩留まりの低下を招く原因とな...