以下に、次の分類用語を使用するページがあります “ワイヤー” 半導体ヒーター用テフロンワイヤー クォーツチューブの破損を防ぐ:半導体製造装置の信頼性を守るために 高負荷の半導体製造装置では、赤外線ランプが破損すると大変な問題になります。停止時間だけが問題なわけではありません。もちろん、停止時間も深刻ですが、何よりも問題なのは、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に散乱してしまう... Read more...
半導体ヒーター用テフロンワイヤー クォーツチューブの破損を防ぐ:半導体製造装置の信頼性を守るために 高負荷の半導体製造装置では、赤外線ランプが破損すると大変な問題になります。停止時間だけが問題なわけではありません。もちろん、停止時間も深刻ですが、何よりも問題なのは、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に散乱してしまう... Read more...