クリーンルームを安全に守り、トロリーヒーターが正常に動作し続けるために 半導体の湿式処理装置や化学洗浄ラインで作業する場合、その危険性はご存知でしょう。そこでは揮発性で燃えやすい溶剤が使用されているのです。これは非常に危険な環境です。 このような場所で通常の赤外線ランプを使うのは、まさに問題を引き...

機器を加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう。 一般的な加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が散乱してしまうのです。半導体製造工場では、これは大きな問題です。 熱が一方向に向けられないと、高価な装置の内壁がその無駄なエネルギーを吸収してしまいま...

安全を守るために：揮発性化学物質がある場所での赤外線加熱 化学物質を使った清掃処理を行っている方なら、その状況はよくご存知でしょう。至る所に可燃性の溶剤があります。そうした環境では、普通の加熱要素は単なる道具に過ぎず、実際には点火源にもなり得ます。 だからこそ、私たちは単に「ランプを設置する」だけ...