一般的な対流式オーブンというのは、基本的には熱い空気が詰まった大きな箱に過ぎません。半導体クリーンルームでは、これは大変な問題です。なぜでしょうか？というのも、その熱はそこに留まっているわけではないからです。熱は装置の壁に浸透してしまい、その結果、装置の外殻が非常に高温になり、人が触れると火傷を負う可能性があります。また、換気システムも部屋の空気を適切な状態に保つために苦労しなければなりません。
熱を移動させるより良い方法 私たちは別の方法を使います。空気を加熱する代わりに、短波赤外線ランプを使用します。 これはまるで懐中電灯のようなものです。熱は直線的に移動し、空気やオーブンの壁を通り抜けて、直接ワークピースに当たります。エネルギーは正確に目的の場所に届きます。熱が部屋の中を跳ね回らないため、装置の外殻が巨大なラジエーターのようになることはありません。
難しい点 しかし、私たちが目指す速度を実現するためには、高出力の石英素子を使用する必要があります。これは即座に反応するので良いのですが、一方で、過度に強力になりすぎる可能性もあります。 適切な距離を保つ必要があります。ランプが近すぎると、基板が焼けてしまいます。逆に遠すぎると、精度が低下し、熱が再び装置の内部に漏れ出してしまいます。これはバランスを取る必要がある問題です。
なぜこれが重要か 最も重要なのは、単に熱そのものではありません。むしろ、熱が存在しないことの方が重要です。 大量の空気を送風する必要がないため、巨大な送風機を使う必要はありません。その結果、振動も少なく、浮遊する粒子も少なくなります。クリーンルームにおいては、これは大きな利点です。さらに、作業員も火傷の心配なく、装置に触れることができます。
設置時の注意点 この装置を接続する際には、単に電源を接続して済ますのではなく、SCRパワーコントローラーを使用することをお勧めします。これにより、電圧の急上昇時にフィラメントが破損するのを防ぎ、温度を正確に調整できます。 最後に、古い対流式コイルをIRランプに交換する場合は、まず電力容量を確認してください。IRランプは一度に多くの電力を消費するため、通常のゆっくりと加熱するコイルよりも初期の電力消費量が大幅に多くなります。