DNS 屏幕 晶圆干燥灯

在光刻生产线上，我们不会将光阻烘烤过程视为简单的“加热”动作。实际上，这涉及到对尺寸精度的精确控制。无论是软烘烤还是硬烘烤，只要温度有1°C的偏差，就会影响到产品的关键尺寸；而不均匀的温度分布则会导致边缘缺陷以及产量下降的问题。DNS筛网式晶圆干燥机正是基于这一需求设计的——其热控制机制完全符合半...