高精度温度加热器

在光刻工艺中，人们很快就会明白：在光阻软烘过程中，即使温度出现1°C的偏差，也会导致加工参数发生变化，进而使芯片的线宽出现误差，最终导致整个生产过程失败。此外，如果晶圆表面还存在一层薄薄的液体膜，那么微粒就会附着在晶圆上，从而降低产品的合格率。因此，温度控制并非一项辅助功能，而是整个生产过程中的关...