无臭氧红外灯

为何我们放弃在半导体红外固化过程中使用臭氧 在半导体制造厂工作时，最不希望出现的就是污染问题。哪怕有一点疏忽，哪怕有微量毒素进入洁净室，那些晶圆就毁了。因此，我们转而使用不用臭氧的红外灯。这是一种更环保的解决方案——无需再依赖那些会留下化学残留物的传统溶剂或紫外线装置。 传统红外灯的弊端 实际上，...