ステンレス鋼ヒーター筐体製作

製造現場では、フォトレジストのベイク性能がナノメートル単位と数分の精度に依存しています。ソフトベイクやハードベイク時に2℃の温度変動が発生すると、クリティカルディメンションがずれ、ロットの廃棄や取り戻せない数時間のロスを招きます。そこで、当社はこの変動要因を排除するためにステンレススチール製のヒー...