为什么镀金反射器对晶圆处理如此重要？ 在半导体加工领域，热量损失是个大问题。它会降低生产效率。当需要精确控制硅晶圆的温度时，最不希望看到的就是红外能量泄漏到设备外壳中——那相当于浪费了能量。 我们使用镀金反射器来防止这种情况发生。它可以将能量重新引导回正确的位置，也就是直接照射到晶圆上。 为何选择...

在制造现场，情况很容易出现变化。如果烘烤温度有半度的偏差，那么光阻层的特性就会不符合标准，生产线就会停止运转。因此，我们设计了这种红外灯座，以确保温度能够稳定控制，无论生产多少批产品都是如此。 关键在于其内部结构 该灯座将短波红外发射器与石英卤素灯以及低气体释放率的陶瓷体相结合。这样，无论是低温烘...