Mattson RTP 灯更换

在晶圆厂车间，热偏差并非理论问题。它们表现为报废晶圆、光刻胶轮廓烧毁以及影响整条生产线的良率下降。当Mattson RTP设备中的灯管老化时，温度均匀性会漂移，工艺窗口也会缩小。我们设计了替换灯系统，从源头抑制这种漂移。 技术重点 该灯管采用短波卤素元件，封装于高纯度石英管内，提供快速升温速率且不...