洁净室设备升级中

停止给设备加热吧（转而加热晶圆吧） 大多数常规的加热元件其实相当麻烦。它们会将能量向各个方向散发——360度全方位地释放热量。在半导体工厂里，这无疑是个大问题。 当热量无法集中到一个方向时，那些昂贵的设备的内部结构就会吸收掉所有这些浪费的能量。这样一来，设备的内部温度就会升高。这对操作机器的人来说...