为什么镀金反射器对晶圆处理如此重要？ 在半导体加工领域，热量损失是个大问题。它会降低生产效率。当需要精确控制硅晶圆的温度时，最不希望看到的就是红外能量泄漏到设备外壳中——那相当于浪费了能量。 我们使用镀金反射器来防止这种情况发生。它可以将能量重新引导回正确的位置，也就是直接照射到晶圆上。 为何选择...

在光刻工艺中，人们很快就会明白：在光阻软烘过程中，即使温度出现1°C的偏差，也会导致加工参数发生变化，进而使芯片的线宽出现误差，最终导致整个生产过程失败。此外，如果晶圆表面还存在一层薄薄的液体膜，那么微粒就会附着在晶圆上，从而降低产品的合格率。因此，温度控制并非一项辅助功能，而是整个生产过程中的关...